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China’s Domestic Immersion DUV Lithography Mass Production

On July 27-28, 2026, The Information and then Reuters confirmed the start of volume production of domestic Chinese deep ultraviolet (DUV) immersion lithography tools by Shanghai Aishengna Electronic Technology Group (a state-owned entity created in 2023, with a capital of approximately 7 billion CNY, integrating teams from Yuliangsheng/SiCarrier-Huawei and SMEE). Target: approximately 5 machines in…

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